应用案例5：MFC应用- 质谱仪

质谱仪，原理是用高能电子流等轰击样品分子，使该分子失去电子变为带正电荷的分子离子和碎片离子。这些不同离子具有不同的质量，质量不同的离子在磁场的作用下到达检测器的时间不同，形成所谓的质谱图。在质谱仪测试和使用过程中，涉及大量的配气、气体采样等环节，而其中的核心器件即为质量流量控制器（MFC）。

质谱仪及其采样系统

推荐产品：

青岛芯笙微纳电子科技有限公司”MFC-T系列质量流量控制器”

MFC-T系列质量流量控制器是基于微机电流量传感器芯片，结合高速采样处理技术和数字补偿算法，所开发的一款智能化、高精度的气体质量流量控制器产品。该产品配备有进口电磁比例阀、316L不锈钢气路座、高精度微机电流量芯片等，具有精度高、响应速度快、稳定性好等特点。在输出方面，带有工业级液晶触控显示屏，具备流量设置、瞬时流量和累积流量显示等功能。输出信号可选择：4-20mA和1-5V模拟信号，以及RS485等数字通信方式。产品广泛应用于：气体分析仪、实验室、环保设备、燃烧控制器、食品和制药等。

产品特点：

• 温度和压力不敏感
• 高精度及优越的零点稳定性
• 超快的响应速度及稳定时间
• 良好的重复性和再现性
• 宽电压输入，多种信号输出方式
• 采用液晶触控显示和便捷控制