气体的种类多种多样,气体的用途亦多种多样,气体流量的大小以及用量的多少是一个严肃的问题。青岛芯笙微纳电子科技有限公司针对此设计并研发出了MFM-50系列气体质量流量计,此流量计自带显示屏,通过按键操作,既可以监测气体当前瞬时流量,又可以显示气体累积流量,此产品在实验室及工业气体流量用量计量方面应用尤为广泛。
图1:MFM-50气体计量系统
图2:MFM-50装配图
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Xinnovis MFM-50 系列气体质量流量计专门用于气体流量的高精度测量。该系列流量计采用业内先进的流量传感芯片,结合航空铝材抛光气体流道设计以及公司核心的标定和补偿算法,实现对各类清洁、干燥气体的高精度流量检测。该系列产品典型测量精度为±1.5%,量程比达到500:1,此系列产品的量程从 10SCCM 到 200SLM 内可选(其它量程可咨询定制),并配有液晶显示、数字输出,方便用户现场和远程调试。该产品成本低、易安装、不需要额外温度和压力补偿,可替代热式毛细管等传统流量计使用。
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