应用案例2：气体流量控制/气体配气仪

基于青岛芯笙微纳电子科技有限公司MFC-T系列高精度质量流量控制器，客户实现了混合气的气体配气，包括基于瞬时流量的单种气体的准确流量控制、基于累积流量的多种气体混合的浓度监测与控制。在配气过程中，气体质量流量越小，MFC灵敏度越高。通过操作上位机，既可以对每台MFC设备发送指令，又可以通过累积流量对混合气气体浓度进监测，高效快捷。在此气体配气仪上使用的质量流量控制器，具有精度高（±1%F.S.）、响应速度快（≤1s）、分辨率高（0.01mL/min）、受温度压力影响小等特点。

图1：基于质量流量控制器的气体配气仪原理

图2：气体配气仪MFC装配图

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   青岛芯笙MFC-T系列质量流量控制器（Mass Flow Controller）是一款智能化、高精度的气体质量流量控制器产品，该产品配备有进口电磁比例阀、316L 不锈钢气路座、高精度微机电流量芯片等，具有精度高、响应速度快、稳定性好等特点。在输出方面，带有工业级液触控显示屏，具备流量设置、瞬时流量和累积流量显示等功能。输出信号可选择：4-20mA 和 1-5V 模拟信号，以及 RS485 等数字通信方式。 此系列产品的量程从20SCCM到10SLM内可选，典型精度为±1.0%F.S.。