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应用案例2:气体流量控制/气体配气仪

发布时间:2021-01-26      点击次数:618

基于青岛芯笙微纳电子科技有限公司MFC-T系列高精度质量流量控制器,客户实现了混合气的气体配气,包括基于瞬时流量的单种气体的准确流量控制、基于累积流量的多种气体混合的浓度监测与控制。在配气过程中,气体质量流量越小,MFC灵敏度越高。通过操作上位机,既可以对每台MFC设备发送指令,又可以通过累积流量对混合气气体浓度进监测,高效快捷。在此气体配气仪上使用的质量流量控制器,具有精度高(±1%F.S.)、响应速度快(1s)、分辨率高(0.01mL/min)、受温度压力影响小等特点。

 

 

1:基于质量流量控制器的气体配气仪原理

 

 

2:气体配气仪MFC装配图

 

 

 

产品推荐:

   青岛芯笙MFC-T系列质量流量控制器(Mass Flow Controller)是一款智能化、高精度的气体质量流量控制器产品,该产品配备有进口电磁比例阀、316L 不锈钢气路座、高精度微机电流量芯片等,具有精度高、响应速度快、稳定性好等特点。在输出方面,带有工业级液触控显示屏,具备流量设置、瞬时流量和累积流量显示等功能。输出信号可选择:4-20mA 和 1-5V 模拟信号,以及 RS485 等数字通信方式 此系列产品的量程从20SCCM到10SLM内可选典型精度为±1.0%F.S.

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