气密性测试/气体检漏仪原理

基于青岛芯笙MFM-T系列高精度质量流量计，客户开发出快速、高可靠的家电检漏设备，从充气到判断冰箱（待检件）密封状态Pass或NG的整个过程，用时不到一分钟。在小型检测件情况，速度更快。通过自动化操作流程、多参量综合检测、智能化动态控制等特色技术，使得该产品具有极低的误判率。在此检漏仪中所使用的流量计，具有相应速度快（15ms）、精度高(0.5%)、量程比大（1000:1）、分辨率高（0.01mL/min）、检测下限低（0.1mL/min）等特点。

图1：基于高精度流量计的气体检漏仪原理

图2：气体检漏仪内部结构图

Xinnovis MFM-T系列质量流量计是一款超高精度气体流量检测仪表，同时具有量程比大、响应速度快、集成度高等特点。在输出方面，带有工业级液晶显示屏幕，可用于显示瞬时流量、累计流量等信息，并支持4-20mA和1-5V模拟信号，以及RS485等三种通信方式。此系列产品的量程从20SCCM到100SLM内可选，典型精度为±1.0%（±0.5%、±0.3%可定制）。