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质量流量控制器的优势

发布时间:2021-11-18      点击次数:47
  (1)精确地定量控制流量
 
  质量流量控制器可以精确地控制气体的给定量,这对很多工艺过程的流量控制、对于不同气体的比例控制等特别有用。
 
  (2)流量的测量和控制不因温度或压力的波动而失准。
 
  对于多数流量测控系统而言,很难避免系统的压力波动及环境和介质的温度变化。对于普通的流量计,压力及温度的波动将导致较大的误差;对于质量流量计/质量流量控制器,则一般可以忽略不计。
 
  (3)测量控制的自动化
 
  质量流量控制器可以将流量测量值以输出标准电信号输出。这样很容易实现对流量的数字显示、累积流量自动计量、数据自动记录、计算机管理等。对质量流量控制器而言,还可以实现流量的自动控制。通常, 模拟的MFC/MFM输入输出信号为0~+5V或4~20mA, 数字式MFC/MFM还配有RS232或RS485数字串行通讯口, 能非常方便地与计算机连接, 进行自动控制。
 
  (4)适用范围宽
 
  有很宽的工作压力范围,我们的产品可以从真空直到10MPa; 可以适用于多种气体介质(包括一些腐蚀性气体,如HCL);有很宽的流量范围,我们的产品*小流量范围可达0~5 sccm,*大流量范围可达0~200 slm。流量显示的分辨率可达满量程的0.1%, 流量控制范围是满量程的2~100% (量程比为-- 50:1), 因此在很多领域得到广泛应用。

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