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气体质量流量控制器:长期稳定性与高精度兼顾

发布时间:2022-04-14      点击次数:427



制造平台具有80余台传感器自动化生产设备和可靠性测试设备以及9000平米千级无尘封测车 间,具备ISO9001, ISO14001, IATF16949等品质管理和制造认证。



在标定和校准环节,拥有活塞标准流量装置(精度0.3%)、音速喷嘴标准流量装置(精度 0.13%)、美国福禄克Molbox流量设备(精度0.125%)等多台设备,确保产品精度。


质量流量控制器, 即Mass Flow Controller(缩写为MFC), 不但具有质量流量计的功能,更重要的是,它能自动控制气体流量,即用户可根据需要进行流量设定,MFC自动地将流量恒定在设定值上,即使系统压力有波动或环境温度有变化,也不会使其偏离设定值。简单地说,质量流量控制器就是一个稳流装置, 是一个可以手动设定或与计算机联接自动控制的气体稳流装置。




基于“微机电系统(Micro-Electro-Mechanical System, MEMS )"的气体质量流量计和气体质量流量控制器,是采用MEMS流量传感器芯片,配合流道设计,实现高精度流量测量的一种新技术。
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快速、准确、稳定

在常规气体流量应用中

提供精准测量、快速响应和稳定控制


长期稳定性与高精度兼顾



青岛芯笙经济型MFM-50系列气体质量流量计,采用业内先进流量传感芯片,配合公司核心的标定和补偿算法,实现对气体的高精度流量测量。全量程输出稳定性好、精度高,量程比优于100:1,成本低、易安装,不需要额外的温度和压力补偿。


青岛芯笙紧凑型MFC-UT系列气体质量流量控制器,采用高集成度设计,体积仅为传统MFC产品的1/4, 重量为传统MFC产品的1/5,精度在20-100%F.S.范围内达到1%R.D.,同时内置的温补算法确保全量程精度。



青岛芯笙MFA系列气体流量模块,采用航空铝合金外壳设计,耐压达到1MPa, 灵敏度漂移低、可靠性高,并具有模拟(线性)和数字(IIC)两种输出模式,方便客户使用,响应时间最快5ms,有利于客户结合采样气泵实现流量快速稳定。



青岛芯笙P700系列手持式流量计,内部集成流量传感器、压力传感器(量程可选)和温度湿度四款传 感器,自带校准程序,方便客户进行精度传递和溯源,内置电池支持300小时不间断使用,外观采用 专业手持式人工美学设计,方便客户携带和手持操作。





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