质量流量控制器的工作压差范围

　　质量流量控制器(Mass Flow Controller)是基于业内的流量传感器芯片，结合高速采样处理技术和数字补偿算法，所开发的一款智能化、高精度的气体质量流量控制器产品。
 

　　该产品配备有电磁比例阀、316L不锈钢气路座、高精度微机电流量芯片等，具有精度高、响应速度快、稳定性好等特点。在输出方面，带有工业级液晶触控显示屏，具备流量设置、瞬时流量和累积流量显示等功能。输出信号可选择：4-20mA和1-5V模拟信号，以及RS485等数字通信方式。
 

　　产品应用于：半导体加工、分析和环保、燃烧控制器、真空技术、表面处理、食品和制药、化工(石化)等过程控制
 

　　质量流量控制器(MFC)中设置有一个气体流量调节阀门，阀门能使通过控制器的流量从零调节到测量的满量程，在工作的过程当中，控制器的入口和出口之间会产生一个气压降，即压差。MFC的工作压差范围通常为0.1～0.3MPa，若压差低于*低值(0.1 MPa)，有可能控制达不到满量程值;若高于*高值(0.3MPa)，有可能关闭时流量不能小于2%F.S。用户使用MFC时，无论用户工作的反应室是真空还是高压，应做到使MFC进出气两端的压差保持在所要求压差范围之内，并且要求气压要相对稳定。