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  • 2022

    7-12

    MFC-T系列质量流量控制器(MassFlowController)是基于业内先进的流量传感器芯片技术,结合高速采样处理技术和数字补偿算法,所开发的一款智能化、高精度的气体质量流量控制器产品。该产品配备有电磁比例阀、316L不锈钢气路座、高精度微机电流量芯片等,具有精度高、响应速度快、稳定性好等特点。在输出方面,带有工业级液晶触控显示屏,具备流量设置、瞬时流量和累积流量显示等功能。质量流量控制器产品用于有害气体或爆炸性气体时,须严格按照产品使用说明或咨询公司技术人员。有关产品...

  • 2022

    7-4

    MEMS芯片研制MEMS技术自晶体管时代的到来,在几十年的时间里迅速的发展壮大,将在微电子技术基础上发展起来的集微型机械、微传感器、微执行器、信号处理、智能控制于一体。从最初的压力传感器到现在的汽车防撞气囊等先进的微型设备,已经普遍应用到各个领域,与传统的一些机械设备相比,MEMS具有不可超越的优势,诸如广义化特点、微型化特点、多样化特点、稳定性特点、集成化特点、批量化特点。利用MEMS技术制造的微型仪器在环境检测、分析和处理方面大有作为,它们主要是由化学传感器、生物传感器和...

  • 2022

    7-4

    随着全球及中国对半导体行业的不断重视和投入,半导体行业对气体流量控制器提出了更高的要求。纳米、薄膜技术等新材料研制技术的成功应用为气体流量控制器集成化和智能化提供了很好的前提条件。MEMS气体流量传感器将在充分利用微机械与微电子技术、计算机技术、信号处理技术、传感技术、故障诊断技术、智能技术等多学科综合技术的基础上得到发展。研制能够同时监测多种气体的全自动数字式的智能气体质量流量控制器将是该领域的重要研究方向。气体质量流量控制器(以下简称“MFC”)采...

  • 2022

    6-27

    质量流量计直接测量通过流量计的介质的质量流量,还可测量介质的密度及间接测量介质的温度。由于变送器是以单片机为核心的智能仪表,因此可根据上述三个基本量而导出十几种参数供用户使用。质量流量计组态灵活,功能强大,性能价格比高,是新一代流量仪表。质量流量计零点不稳定误差主要来自流量传感器部分,原因有两个:机械振动的非对称性和衰减、流体的密度黏度变化。影响前者的因素有:①管端固定应力;②振动管刚度的变化;③双管谐振频率不一致性;④管壁材料的内衰减。影响后者的因素主要是结构不平衡,因此即...

  • 2022

    6-18

    采取相应的措施来使质量流量计的测量精度更高经过不断地实践和摸索,在质量流量计的运行、监测、维护及故障处理方面形成了一套比较完善的方法,并取得了较好的效果,话不多说下面让我们一起来了解一下吧。1、设备档案的建立质量流量计的建档工作是不可少的,这样做可以便于质量流量计的日常维护和管理。其中设备档案应尽可能包括质量流量计的安装地点、测量介质的名称、介质的工况参数、管道的口径、质量流量计的内部设定参数、正常流量、大流量等内容,以及每次检定的合格证书及日常检测、维修记录。2、实现质量流...

  • 2022

    6-9

    质量流量控制器(MassFlowController)是基于业内的流量传感器芯片,结合高速采样处理技术和数字补偿算法,所开发的一款智能化、高精度的气体质量流量控制器产品。该产品配备有电磁比例阀、316L不锈钢气路座、高精度微机电流量芯片等,具有精度高、响应速度快、稳定性好等特点。在输出方面,带有工业级液晶触控显示屏,具备流量设置、瞬时流量和累积流量显示等功能。输出信号可选择:4-20mA和1-5V模拟信号,以及RS485等数字通信方式。产品应用于:半导体加工、分析和环保、燃烧...

  • 2022

    6-9

    MFC稳定的流量控制技术:MFC对气体流量进行控制是基于流量计和比例阀在PID控制算法的作用下所实现。MFC所采用的PID算法一般具有动态调整功能,根据不同的工况进行动态调整,从而实现快速的流量切换(一般响应时间<1s)以及设定的流量的稳定输出。下图为10LMFC的最大流量点多稳定性情况对比,以10SLM为例,本产品波动±13sccm,三台竞品分别为±13sccm,±116sccm,±19.5sccm。(数据由第三方MF...

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