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全新MFC产品5月20日与你相见

发布时间:2022-04-25      点击次数:554

青岛芯笙近期推出多款气体质量流量计和质量流量控制器产品,成功打通从MEMS芯片到流量检测仪表和算法的全链条核心技术,成为青岛市仅有的几家掌握MEMS核心芯片技术的高科技企业之一。

随着国家对国产仪器和半导体设备的重视和支持,国内分析仪器产业、半导体装备产业实现了快速发展。作为分析仪器和半导体装备的核心部件,气体质量流量计/控制器目前仍以进口为主,国产化替代需求迫切。不同于传统的差压、涡街等原理的体积型流量计,MEMS气体质量流量计基于热传导原理对气体质量流量进行高精确测量,该类型产品不受温度和压力等环境参数影响。

青岛芯笙S500系列气体质量流量控制器,具有*的气体流道设计,可实现灵活的分流比配置,量程覆盖1sccm~120slm,最小控制精度为0.1sccm,0~50℃温度范围漂移量仅为0.4~0.6%。在电学信号方面,提供多种数字和模拟控制方式,并配备工业级显示屏,方便客户现场调试和配置。



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