热式流量控制器(Mass Flow Controller)是基于业内*的流量传感器芯片技术,结合高速采样处理技术和数字补偿算法,所开发的一款智能化、高精度可进行准确的质量流量控制的气体流量控制器产品。该产品配备有电磁比例阀、316L不锈钢气路座、高精度微机电流量芯片等,具有精度高、响应速度快、稳定性好等特点。
E-P100产品是一款高精度、高可靠的经济型气体质量流量控制器产品 。
E-P100产品是一款高精度、高可靠的经济型气体质量流量控制器产品 。该产品采用最新一代的工业级气体流量检测芯片 、电磁比例阀 、316L不锈钢气路底座,结合高速数字处理电路以及温度补偿算法 ,可实现最小0 . 2sccm 、最大20slm流 量范围内流量控制
S300系列数字质量流量控制器/流量计:采用公司自主研发的工业级*流量传感器,结合精细抛光气路结构以及高精度数字控制电路和算法,实现高精度、低零漂、高重复性控制 。该产品配备现场显示屏和地址编码开关,多种通讯方式可选、可定制全金属密封,很好的适配半导体、真空镀膜、光伏及其它各类应用环境 。
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