S300系列数字质量流量控制器/流量计:采用公司自主研发的工业级*流量传感器,结合精细抛光气路结构以及高精度数字控制电路和算法,实现高精度、低零漂、高重复性控制 。
S300系列数字质量流量控制器/流量计:采用公司自主研发的工业级先进流量传感器,结合精细抛光气路结构以及高精度数字控制电路和算法,实现高精度、低零漂、高重复性控制 。
紧凑型质量流量控制器(Mass Flow Controller)是基于业内的流量传感器芯片,结合高速采样处理技术和数字补偿算法,所开发的一款更紧凑的气体质量流量控制器产品。
E-P100产品是一款高精度、高可靠的经济型气体质量流量控制器产品 。该产品采用最新一代的工业级气体流量检测芯片、电磁比例阀 、316L不锈钢气路底座,结合高速数字处理电路以及温度补偿算法 ,可实现最小0.2 sccm 、最大20slm流量范围内的气体流量快速控制。该产品可以用于配气仪、分析仪、真空镀膜、焊接等应用场景。
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