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MFC-E系列可控制、经济型质量流量控制器(Mass Flow Controller)是基于业内先进的微机电(MEMS)流量传感器芯片技术,结合高速采样处理技术和数字补偿算法,所开发的一款智能化、高精度可进行准确的质量流量控制的气体质量流量控制器产品。该产品配备有进口电磁比例阀、316L不锈钢气路座、高精度微机电流量芯片等,具有精度高、响应速度快、稳定性好等特点。操作使用方便,可任意位置安装,广泛用于电子工艺设备、真空镀膜、石油化工、冶金、制药、光纤熔炼、分析测量仪器、制气配气等行业。输出信号可选择:4-20mA和1-5V模拟信号,以及RS485等数字通信方式。
MFC-E系列可控制、经济型质量流量控制器应用于:半导体加工、分析和环保、燃烧控制器、真空技术、表面处理 、食品和制药、化工(石化)等过程控制
产品特点:
温度和压力不敏感
优越的零点稳定性
超快的响应速度
良好的重复性和再现性
多种信号输出方式
配备进口比例电磁阀
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