MFC-UT系列智能化、紧凑型质量流量控制器

简要描述：MFC-UT系列智能化、紧凑型质量流量控制器（Mass Flow Controller）是基于业内的微机电（MEMS）流量传感器芯片，结合高速采样处理技术和数字补偿算法，所开发的一款更紧凑的气体质量流量控制器产品。

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厂商性质：生产厂家
更新时间：2021-05-25
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产品分类

流量控制器

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紧凑型质量流量控制器主要用于微小量程的气体的精密测量和控制

详细介绍

MFC-UT系列智能化、紧凑型质量流量控制器（Mass Flow Controller）是基于业内的微机电（MEMS）流量传感器芯片，结合高速采样处理技术和数字补偿算法，所开发的一款更紧凑的气体质量流量控制器产品。该产品配备有进口电磁比例阀、316L不锈钢气路座、高精度微机电流量芯片等，超高的集成度使该产品能够缩小一半体积，可以更好的适用于空间要求严格的安装场所。

MFC-UT系列智能化、紧凑型质量流量控制器产品应用于：半导体加工、分析和环保、燃烧控制器、真空技术、表面处理、食品和制药、化工（石化）等过程控制、气体混合配比

产品特点：

温度和压力不敏感

设计劲凑，可安装任意位置

优越的零点稳定性

超快的响应速度

良好的重复性和再现性

采用液晶触控显示和控制

配备进口比例电磁阀

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