咨询热线

18661615969

当前位置:首页   >  产品中心  >    >  流量控制器  >  MFC-UT系列质量流量控制器

质量流量控制器

简要描述:MFC-UT系列质量流量控制器(Mass Flow Controller)是基于业内的微机电(MEMS)流量传感器芯片,结合高速采样处理技术和数字补偿算法,所开发的一款更紧凑的气体流量控制器产品。该产品配备有进口电磁比例阀、316L不锈钢气路座、高精度微机电流量芯片等,超高的集成度使该产品能够缩小一半体积,可以更好的适用于空间要求严格的安装场所

  • 产品型号:MFC-UT系列
  • 厂商性质:生产厂家
  • 更新时间:2021-05-25
  • 访  问  量:52

详细介绍

MFC-UT系列质量流量控制器Mass Flow Controller)是基于业内微机电(MEMS)流量传感器芯片,结合高速采样处理技术和数字补偿算法,所开发的一款更紧凑的气体质量流量控制器产品。该产品配备有进口电磁比例阀、316L不锈钢气路座、高精度微机电流量芯片等,集成度使该产品能够缩小一半体积可以更好的适用于空间要求严格的安装场所

 

产品应用  Application

 

  • 半导体加工
  • 分析和环保
  • 燃烧控制器                      
  • 真空技术
  • 表面处理                       
  • 食品和制药
  • 化工(石化)等过程控制
  • 气体混合配比

产品特点  Feature

 

  • 温度和压力不敏感
  • 设计紧凑易于安装
  • 优越的零点稳定性
  • 超快的响应速度
  • 良好的重复性和再现性
  • 配备进口比例电磁阀

产品规格  Specification

 

 

 

参数说明

介质要求

洁净干燥无腐蚀性气体

介质种类

空气、氮气氩气、二氧化碳、氦气、氢气、甲烷、氧气

   

0-50/100/500/1000SCCM,0-5/20SLM

   

1% F.S.

分辨率

至低0.01SCCM

响应时间

≤1S

环境条件

介质温度

0~50

工作温度

-20~70

工作湿度

10%~90%RH(无结冰,无凝露)

工作压力

0~1MPa

储存温度

-20~85℃

电气参数

供电电压

DC24V,纹波 ≤50mV

     

2.4W

启动时间

<1S

预热时间

<10mS

通信接口(RS485)

接口类型

RJ45接口

通信速率

4800,9600(默认),14400,19200,38400,56000,57600,115200,

128000,230400,256000,460800,500000(可通过指令或者上位机修改)

    

RS485(默认Modbus-RTU,可定制私有协议)

设备地址

1(默认)-250(可通过指令或者上位机修改)

大节点数

250

机械参数

接头类型

卡套:8mm、12mm、 3/8 inch,快插:6mm,8mm,其它可选

主体材质

底座:316L不锈钢,外壳:碳钢

密封材质

FKM氟橡胶

重量

0.35kg

 

尺寸图  Dimension

 

 

 

产品选型  Product choosing

 

安全及保修 Safety And Warranty

 

安全使用

 

产品用于有害气体或爆炸性气体时,须严格按照产品使用说明或咨询公司技术人员。有关产品应用的新信息,请与厂家联系索取或访问公司网站。强腐蚀性或氟化物气体可能影响产品正常工作,甚至对产品造成毁损。产品经过密封处理并在装箱前进行过防漏试验,在高压下使用必须按照产品使用说明的限制,否则会导致泄漏及安全问题。

注意:未经公司许可,任意改动或不当使用本产品可导致不可预见的损坏、人员伤害及其它有害后果,公司将不负任何责任。

产品保修

 

产品必须在说明书规定的正常工作条件下,严格按照正确的方法安装、使用并维护保养。产品质量保证期,从发货之日起提供365天免费保修。维修或更换的产品,保修期为 90 天或延续原保修期(以更长者为准)。

芯笙微纳电子科技有限公司(以下简称芯笙科技不对安装、拆卸及替换但并不仅限于安装、拆卸及替换所导致的任何直接及间接损害和损失承担任何责任。为避免不必要的纠纷,用户应将其有疑问的产品送还公司,公司对问题进行确认后,确定维修或替换。用户承担产品送交芯笙科技的费用及可能风险,芯笙科技承担产品送还客户的费用及可能风险。芯笙科技的所有销售合同认定用户自动接受此保修条件及其中芯笙科技的有限责任。仅芯笙科技有权更改、修订保修条件或决定不执行其条款。

 

注意,下列情况不适用保修条款:

1)产品被改变、改装、处于说明书规定的(或之外的)不正常环境及其它任何可被视为非正常使用的情况 

2)非本公司原装产品

环境要求 Environmental requirements 

对于产品拆封后的包装箱体、填充材料、防静电袋等废弃物,请按照纸张、塑料和其他垃圾进行分类处理。对于达到使用寿命的产品,请参照国家对电子电器产品的相关报废规定进行处理。

产品咨询

留言框

  • 产品:

  • 您的单位:

  • 您的姓名:

  • 联系电话:

  • 常用邮箱:

  • 省份:

  • 详细地址:

  • 补充说明:

  • 验证码:

    请输入计算结果(填写阿拉伯数字),如:三加四=7

联系我们

青岛芯笙微纳电子科技有限公司 公司地址:地址:山东省青岛市崂山区国际创新园B座12楼201室   技术支持:化工仪器网
  • 联系人:温茗淇
  • QQ:
  • 公司传真:
  • 邮箱:service@xinnovis.com

扫一扫 更多精彩

网站公众号

网站二维码

扫一扫访问手机站扫一扫访问手机站
访问手机站