小流量气体流量计

简要描述：小流量气体流量计（Mass Flow Controller）是基于业内*的微机电（MEMS）流量传感器芯片技术，结合高速采样处理技术和数字补偿算法，所开发的一款智能化、高精度可进行准确的质量流量控制的气体质量流量控制器产品。

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更新时间：2024-04-26
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数字流量计/MFM

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气体流量计算设计特点

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小流量气体流量计（Mass Flow Controller）是基于业内*的微机电（MEMS）流量传感器芯片技术，结合高速采样处理技术和数字补偿算法，所开发的一款智能化、高精度可进行准确的质量流量控制的气体质量流量控制器产品。

小流量气体流量计介绍：

温度和压力不敏感

超快的响应速度

多种信号输出方式

公司专注于 MEMS 流量传感器芯片、流量计、质量流量控制器、数字风速计等气体流量检测芯片和模组的研发和销售，晶圆制造交由国外晶圆厂代工，封装交由母公司制造平台负责，该平台具有9000平米千级无尘封测车间，具有ISO9001, ISO14001, IATF16949等品质管理和制造认证。相关流量计及控制器产品被广泛应用于气体检漏、气体分析仪、实验室、计量院、热氧化炉、扩散炉等领域

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