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半导体流量控制器

简要描述:半导体流量控制器(Mass Flow Controller)是基于业内的微机电(MEMS)流量传感器芯片,结合高速采样处理技术和数字补偿算法,所开发的一款更紧凑的气体质量流量控制器产品。

  • 产品型号:
  • 厂商性质:生产厂家
  • 更新时间:2021-05-26
  • 访  问  量:60

详细介绍

半导体流量控制器Mass Flow Controller)是基于业内微机电(MEMS)流量传感器芯片,结合高速采样处理技术和数字补偿算法,所开发的一款更紧凑的气体质量流量控制器产品。该产品配备有进口电磁比例阀、316L不锈钢气路座、高精度微机电流量芯片等,超高的集成度使该产品能够缩小一半体积,可以更好的适用于空间要求严格的安装场所

 

产品应用于:半导体加工、分析和环保、燃烧控制器、真空技术、表面处理、食品和制药、化工(石化)等过程控制、气体混合配比

 

半导体流量控制器产品特点:

温度和压力不敏感

设计劲凑,可安装任意位置

优越的零点稳定性

超快的响应速度

良好的重复性和再现性

采用液晶触控显示和控制

配备进口比例电磁阀

 
 

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