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芯笙气体质量流量控制器MEMS气体流量计

简要描述:青岛芯笙MFC-S500系列气体质量流量控制器,采用公司自主研发的工业级先进流量传感器芯片,具有*的气体流道设计,可实现灵活的分流比配置,量程覆盖1sccm~120slm,最小控制精度为0.1sccm,0~50℃温度范围漂移量仅为0.4~0.6%。在电学信号方面,提供多种数字和模拟控制方式,并配备工业级显示屏,方便客户现场调试和配置。

  • 产品型号:流量控制 S500
  • 厂商性质:生产厂家
  • 更新时间:2022-07-07
  • 访  问  量:621

详细介绍

新一代工业级流量传感器芯片与先进气路结构的结合

数字质量流量控制器:采用公司自主研发的工业级先进流量传感器芯片,结合低压损气路结构以及高精度数字控制电路和算法,实现宽温范围内的高精度、高稳定性、宽量程比控制。该产品配备现场调试屏及独立供电接口,适配半导体 、真空镀膜、光伏及其它各类应用环境 。

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   基于科学家托马斯提出的“气体的吸热量或放热量与气体的质量流量成正比"理论发展而来。无气流时,以Heater为中心的温度场对称分布;有气流时,温度场分布发生偏移,导致上下游出现温差,通过测量该温差,即可推算出流过芯片表面的气体质量流量。

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   青岛芯笙MFC-S500系列气体质量流量控制器,具有*的气体流道设计,可实现灵活的分流比配置,量程覆盖1sccm~120slm,最小控制精度为0.1sccm,0~50℃温度范围漂移量仅为0.4~0.6%。在电学信号方面,提供多种数字和模拟控制方式,并配备工业级显示屏,方便客户现场调试和配置。

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