芯笙气体质量流量控制器MEMS气体流量计

简要描述：青岛芯笙MFC-S500系列气体质量流量控制器，采用公司自主研发的工业级先进流量传感器芯片，具有*的气体流道设计，可实现灵活的分流比配置，量程覆盖1sccm~120slm，最小控制精度为0.1sccm，0~50℃温度范围漂移量仅为0.4~0.6%。在电学信号方面，提供多种数字和模拟控制方式，并配备工业级显示屏，方便客户现场调试和配置。

产品型号：流量控制 S500
厂商性质：生产厂家
更新时间：2023-09-20
访问量：1574

产品咨询联系我们

产品分类

流量控制器

紧凑型质量流量控制器环保质量流量控制器国产质量流量控制器热式流量控制器气体流量控制器半导体流量控制器查看全部产品

详细介绍

新一代工业级流量传感器芯片与先进气路结构的结合

数字质量流量控制器：采用公司自主研发的工业级先进流量传感器芯片，结合低压损气路结构以及高精度数字控制电路和算法，实现宽温范围内的高精度、高稳定性、宽量程比控制。该产品配备现场调试屏及独立供电接口，适配半导体、真空镀膜、光伏及其它各类应用环境。

基于科学家托马斯提出的“气体的吸热量或放热量与气体的质量流量成正比”理论发展而来。无气流时，以Heater为中心的温度场对称分布；有气流时，温度场分布发生偏移，导致上下游出现温差，通过测量该温差，即可推算出流过芯片表面的气体质量流量。

青岛芯笙MFC-S500系列气体质量流量控制器，具有*的气体流道设计，可实现灵活的分流比配置，量程覆盖1sccm~120slm，最小控制精度为0.1sccm，0~50℃温度范围漂移量仅为0.4~0.6%。在电学信号方面，提供多种数字和模拟控制方式，并配备工业级显示屏，方便客户现场调试和配置。