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半导体流量控制器

简要描述:半导体流量控制器是基于业内的流量传感器芯片,结合高速采样处理技术和数字补偿算法,所开发的一款更紧凑的气体质量流量控制器产品。

  • 产品型号:
  • 厂商性质:生产厂家
  • 更新时间:2024-04-11
  • 访  问  量:2671

详细介绍

  半导体流量控制器(Mass Flow Controller)是基于业内的流量传感器芯片,结合高速采样处理技术和数字补偿算法,所开发的一款更紧凑的气体质量流量控制器产品。该产品配备有电磁比例阀、316L不锈钢气路座、高精度微机电流量芯片等,超高的集成度使该产品能够缩小一半体积,可以更好的适用于空间要求严格的安装场所。
  产品应用于:半导体加工、分析和环保、燃烧控制器、真空技术、表面处理、食品和制药、化工(石化)等过程控制、气体混合配比


  半导体流量控制器产品特点:
  温度和压力不敏感
  设计劲凑,可安装任意位置
  优越的零点稳定性
  超快的响应速度
  良好的重复性和再现性
  采用液晶触控显示和控制
  配备比例电磁阀




 

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