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紧凑型质量流量控制器(Mass Flow Controller)是基于业内的流量传感器芯片,结合高速采样处理技术和数字补偿算法,所开发的一款更紧凑的气体质量流量控制器产品。该产品配备有电磁比例阀、316L不锈钢气路座、高精度微机电流量芯片等,超高的集成度使该产品能够缩小一半体积,可以更好的适用于空间要求严格的安装场所。
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