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数字气体流量计——S300

简要描述:高性能MFC,为半导体行业量身打造

S300系列数高性能MFC,为半导体行业量身打造

S300系列数字质量流量控制器/流量字质量流量控制器/流量计:采用公司自主研发的工业级先进流量传感器,结合精细抛光气路结构以及高精度数字控制电路和算法,实现高精度、低零漂、高重复性控制。该产品配备现场显示屏和地址编码开关,多种通讯方式可选、可定制全金属密封,wm适配半导体、真空镀膜、光伏及其它各类应用环境 。

  • 产品型号:S—300
  • 厂商性质:生产厂家
  • 更新时间:2023-09-20
  • 访  问  量:818

详细介绍

简介

高性能MFC,为半导体行业量身打造

S300系列数字质量流量控制器/流量计:采用公司自主研发的工业级先进流量传感器,结合精细抛光气路结构以及高精度数字控制电路和算法,实现高精度、低零漂、高重复性控制。该产品配备现场显示屏和地址编码开关,多种通讯方式可选、可定制全金属密封, 适配半导体、真空镀膜、光伏及其它各类应用环境 。

主要优势

S1 物理功能模块丰富

顶部配置有丰富的功能模块:

* RJ45数字通信接口(可定制

  EtherCATRS485协议)

地址编码开关

现场显示屏

状态指示灯

此外,侧面配置有M8航空供电接口,显示直观、操作简单,方便用户进行现场流量监测和控制。


S2 快速响应

1.5ms传感器响应时间,0.1~0.5s仪表系统响应时间,及时捕捉微小流量变化。


S3 高精度

2.0%-100%F.S.全量程段保持高精度:

0.3%F.S.(30%F.S.)1.0%S.P.(30%F.S.)


S4 配备专用上位机

配备功能强大的SmartFlow上位机软件,支持多台联动,方便进行监测和设备配置。


S5 认证产品

通过TüV国际机构CE&EMC认证,或计量院一级校准证书等,符合多项SEMI标准。



*  除非另有说明,本产品标定于以下条件:氮气、温度25℃、2.5bar差压(进气口3.5bar绝压对出气口1bar

   绝压)、水平放置安装。

*  建议在入口端安装尺寸合适的直管段,否则可能会引起精度产生偏差。

*  建议在入口端和出口端匹配尽可能大的接头,以避免导致额外的压损。

1  所示量程为氮气可选量程。

2  %F.S.指误差占满量程的百分比。

3  %S.P.指误差占设定值的百分比。

4  响应时间指达到设定值±2%以内所需要的时间。

5  工作压力指进气口与出气口(1bar绝压)之间的差压,更多细节请联系我们。

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