青岛芯笙MFC-S500系列气体质量流量控制器,采用公司自主研发的工业级先进流量传感器芯片,具有*的气体流道设计,可实现灵活的分流比配置,量程覆盖1sccm~120slm,最小控制精度为0.1sccm,0~50℃温度范围漂移量仅为0.4~0.6%。在电学信号方面,提供多种数字和模拟控制方式,并配备工业级显示屏,方便客户现场调试和配置。
紧凑型-气体质量流量控制器--青岛芯笙 是基于业内的流量传感器芯片,结合高速采样处理技术和数字补偿算法,所开发的一款更紧凑的气体质量流量控制器产品。
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